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透射电镜原位TEM高温力学测量系统

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同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块,可以在对样品1000 ℃加热的同时进行定量的力学测量。MEMS芯片模块上可以选择加热芯片,也可以选择电学测量芯片。力学测量模块可以选择不同载荷的传感器,满足不同实验需求。

        该产品实现了透射电镜中高分辨定量原位高温力学研究。

透射电镜原位高温力学测量系统

性能指标

 透射电镜指标:

● 兼容指定电镜型号及极靴;

● 部分型号电镜可选双倾版本,双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°(同时受限于极靴间距);

 

力学传感器指标:

● Z大载荷100 mN(可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN);

● 力测量实测噪声优于5nN(0.1 mN Z大载荷时);

● 力测量实测分辨率优于5 nN(0.1 mN  Z大载荷时);

● 自动测量力-距离曲线,自动保存。

 

加热指标:

● 温度控制范围:室温至1000 ℃;

● 温度准确度:优于5%;

● 温度稳定性:优于±0.1 ℃。


扫描探针操纵指标:
● 粗调范围:X方向 1.5 mm,YZ 方向2 mm;
● 细调范围:XY 方向20 um,Z 方向 10 um;
● 细调分辨率:XY 方向 0.4 nm,Z 方向 0.2 nm。
 

产品特色

(1)超大力学测量及温度控制范围;

(2)多场下的力学研究。


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透射电镜原位TEM高温力学测量系统


 

 

 

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